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RS-100是一款基于RDL First WLP 行業(yè)點(diǎn)膠需求開發(fā)的，集晶圓自動(dòng)上下料功能的噴膠系統(tǒng)。該系統(tǒng)集晶圓自動(dòng)上下料與晶圓級(jí)噴膠功能于一體，可全自動(dòng)實(shí)現(xiàn)晶圓搬運(yùn)、對(duì)位、預(yù)熱、作業(yè)加熱、噴膠、散熱等功能。配置AMHS自動(dòng)上下貨機(jī)器人接口，匹配信息化管理要求與無(wú)人化管理趨勢(shì)，點(diǎn)膠區(qū)域達(dá)到 550mmx510mm。
核心優(yōu)勢(shì)
良率提升：工作機(jī)位作業(yè)前后檢測(cè)，末站專業(yè)檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)多重防呆。嚴(yán)格溫控：在晶圓流轉(zhuǎn)與作業(yè)全過(guò)程中對(duì)溫度進(jìn)行管控并自動(dòng)校正，滿足CUF工藝需求。
系統(tǒng)組成
RS-100 | 基本參數(shù) |
外形尺寸 mm | 960×1240×1467（W*D*H） |
重量 kg | 標(biāo)準(zhǔn)機(jī)：900 |
用電需求 | 電壓220V，50HZ，電流16A |
氣壓需求MPa | 最小氣壓0.6 |
設(shè)備功耗W | ≦2500 |
有效行程 mm | X550*Y510 |
軌道高度mm | 900±30 |
軌道承重（含載具）Kg | 4.5 |
最大基板厚度 mm | 5.5 |
軸數(shù) | X、Y、Z |
驅(qū)動(dòng)方式 | X/Y/Z軸采用伺服馬達(dá)+精密滾珠絲桿 |
定位精度 | ±15um(X\Y)；±15um(Z) |
重復(fù)精度 | ±10um(X\Y)；±10um(Z) |
最大速度mm/s | 1000(X/Y)；300(Z) |
最大加速度 | 1g(X/Y)；0.3g（Z） |
視覺定位系統(tǒng) | 工業(yè)CCD |
計(jì)算機(jī)及軟件 | Windows 系統(tǒng)開發(fā)下軟件 |
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